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潔凈室塵埃粒子檢測培訓資料(內部版)

2021-09-23

無塵車間,也稱為潔凈室是保證半導體,太陽能電池等對環境要求較高的行業進行批量生產所條件要求。(本篇不展開細菌微生物內容)。

懸浮微粒:一般指懸浮于空氣中的固態和液態微粒,其顆粒尺寸范圍約在0.1-5μm之間。如油,屬于液體狀態,也會形成微粒。

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潔凈度:用于表示單位體積空間內空氣中所含微粒大小及數量多少,是區分空間潔凈程度的標準。

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高效空氣過濾器HEPA:在額定風量下,對顆粒大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上,以及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

測試采樣:

儀器:激光粒子計數器

采樣點:潔凈室內一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。

             潔凈室面積較小時,可以在離地面0.8m-1.5m高度的區域內分層采樣。

采樣量:

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采樣分析,除了潔凈室環境空間外,如壓縮空氣中也會存在顆粒,壓縮空氣采集與普通環境相比,需要壓縮空氣采集器,可有效計算采集氣體量。


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